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Si(001),GaP(001)基板上でのインジウム、リン系有機化合物ガスの吸着と分解過程の研究
フォーマット:
図書
責任表示:
村田純一 [著]
言語:
日本語
出版情報:
1995.2
形態:
ii, 102p ; 30cm
著者名:
村田, 純一  
シリーズ名:
静岡大学博士論文 ; 報告番号甲第110号 ; 学位記番号工博甲第107号 <ST00000107>
書誌ID:
ST00000234
その他の番号:
NDLID:000000284427  OthnNdlid
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