
Si(001),GaP(001)基板上でのインジウム、リン系有機化合物ガスの吸着と分解過程の研究
- フォーマット:
- 図書
- 責任表示:
- 村田純一 [著]
- 言語:
- 日本語
- 出版情報:
- 1995.2
- 形態:
- ii, 102p ; 30cm
- 著者名:
- 村田, 純一
- シリーズ名:
- 静岡大学博士論文 ; 報告番号甲第110号 ; 学位記番号工博甲第107号 <ST00000107>
- 書誌ID:
- ST00000234
- その他の番号:
- NDLID:000000284427
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