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Si(001), GaP(001)基盤上でのインジウム、リン系有機化合物ガスの吸着と分解過程の研究
フォーマット:
その他
責任表示:
村田, 純一
言語:
日本語
出版情報:
静岡大学大学院電子科学研究科, 1996-03-29
著者名:
村田, 純一  
掲載情報:
静岡大学大学院電子科学研究科研究報告
ISSN:
03885070  CiNii Books  Webcat Plus  JAIRO
巻:
17
開始ページ:
172
終了ページ:
174
バージョン:
publisher
概要:
博士学位論文の要旨 学位記番号:工博甲第107号
甲第110号
URL:
http://hdl.handle.net/10297/1229
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