
Si(001), GaP(001)基盤上でのインジウム、リン系有機化合物ガスの吸着と分解過程の研究
- フォーマット:
- その他
- 責任表示:
- 村田, 純一
- 言語:
- 日本語
- 出版情報:
- 静岡大学大学院電子科学研究科, 1996-03-29
- 著者名:
- 村田, 純一
- 掲載情報:
- 静岡大学大学院電子科学研究科研究報告
- ISSN:
- 03885070
- 巻:
- 17
- 開始ページ:
- 172
- 終了ページ:
- 174
- バージョン:
- publisher
- 概要:
- 博士学位論文の要旨 学位記番号:工博甲第107号
甲第110号 - URL:
- http://hdl.handle.net/10297/1229
類似資料:
丸善 | |
静岡大学 |
共立社 |
東京化学同人 | |
静岡大学大学院電子科学研究科 |
東京化学同人 |
共立出版 |
[静岡大学] |
日本物理学会 |
静岡大学 |