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Si(001),GaP(001)基板上でのインジウム,リン系有機化合物ガスの吸着と分解過程の研究
フォーマット:
学位論文
責任表示:
村田, 純一
言語:
日本語
出版情報:
静岡大学, 1995-03-24
著者名:
村田, 純一  
開始ページ:
1
終了ページ:
102
バージョン:
ETD
概要:
doctoral
電子科学研究科
甲第110号
URL:
http://hdl.handle.net/10297/3258
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1 図書 Si(001),GaP(001)基板上でのインジウム､リン系有機化合物ガスの吸着と分解過程の研究

村田, 純一
7 図書 吸着と動的過程

塚田, 捷

丸善
2 その他 Si(001), GaP(001)基盤上でのインジウム、リン系有機化合物ガスの吸着と分解過程の研究

村田, 純一

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